杭州市采诗日化有限公司

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合山kapton 晶圆加热盘定制

发布时间:2022-04-24   来源:杭州市采诗日化有限公司   阅览次数:709次   

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对 300 毫米晶圆进行无污染的经济加热和冷却是极其困难的。圣柏林开发了一个 300 毫米晶圆预热和后冷却站,可提供出色的温度均匀性、快速加热和冷却以及行业的背面污染。我们具有成本效益的模块使用可靠的电阻加热元件,可在不到 15 秒的时间内实现优于 2°C 的均匀性和高达 450°C 的加热。该模块对 300 毫米晶圆生产至关重要,具有极低的背面金属和微粒污染。

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TC-700 晶圆加热盘-晶圆加热器-晶圆加热芯-产品采用热电偶技术来产生准确和可靠的读数。

一个可选的冷却压板可以集成在相同的占地面积中,以提供一个非常紧凑且易于连接的单元。作为一种选择,可以将工艺气体引入热工艺室和冷工艺室。晶圆销提升机构集成到热压盘和冷压盘中,以促进晶圆转移。该模块可以作为单元使用,也可以通过符合 BOLTS 标准的接口集成。标准控制接口可以是以太网或串行接口,也可以根据您的要求进行

TC-700D 使用坚固的组件来延长这些易碎产品的使用寿命。用于制造传感器的材料经过精心挑选,以实现尽可能高的精度和大的传感器到传感器的一致性。

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仪表化晶圆数据采集解决方案 – TEDAQ圣柏林晶圆加热器的数据采集 (TEDAQ) 和温度映射软件工具允许准确捕获和分析任何类型的仪器化晶圆的温度数据。

我们具有成本效益的模块使用可靠的电阻加热元件,可在不到 15 秒的时间内实现优于 2°C 的均匀性和高达 450°C 的加热。该模块对 300 毫米晶圆生产至关重要,具有极低的背面金属和微粒污染。一个可选的冷却压板可以集成在相同的占地面积中,以提供一个非常紧凑且易于连接的
TEDAQ 软件与新的 Windows 操作系统兼容。如果对我们的 TEDAQ 解决方案有任何疑问或疑问,请通过以下方式联系我们: sales@fullchance.com。

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